Laboratoris SEM i SAM
Els Laboratoris SEM i SAM inclouen un microscopi acústic d’escaneig Gen-5 (Sonoscan), un banc de proves de cicle tèrmic / envelliment per a anàlisis de fiabilitat de dispositius i sistemes de potència i un microscopi electrònic d’escaneig (SEM) Auriga-40 (Carl Zeiss) amb Sistema d’anàlisi d’espectroscòpia de raigs X (EDX) dispersiva en energia.
Activitats principals
- Inspecció SAM d’interfases i juntes en dispositius, subsistemes i sistemes encapsulats (anàlisi d’unió, delaminació entre capes, inspecció d’unions entre oblies unides, inspecció en profunditat de microestructures, etc.).
- Proves de fiabilitat (ciclicitat tèrmica, envelliment, etc ...) basades principalment en càmera termoinstal·lada Instec (-80ºC / + 400ºC) amb diferents canals de polarització i mesura disponibles.
- Inspecció de microscòpia electrònica d’alta resolució (SEM) i anàlisi EDX.
Persona de contacte
Xavier Jordà